蒸汽汽提法是用蒸汽將廢水中的游離氨轉變為氨氣逸出，其處理機理是一個氣液傳質過程，即在高pH（PH儀表）值時使廢水與蒸汽密切接觸，從而降低廢水中氨濃度的過程。傳質過程的推動力是氣相中氨的分壓與廢水中氨的濃度對應的平衡分壓之間的差值。

  蒸汽汽提法由于采用的工作介質是蒸汽，氨自廢水進入蒸汽中，然后在塔頂精餾成為濃氨水回收，因此無須增加后處理工序。蒸汽汽提所需蒸汽體積要比空氣吹脫法中所需空氣體積小得多，因此設備體積較小，占地面積較少。